一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420399824.6

申请日：

2014-07-18

公开(公告)号：

CN204125161U

公开(公告)日：

2015-01-28

发明(设计)人：

沈方平张珽祁明锋刘瑞丁海燕谷文

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号C517

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-28	授权	授权
2021-07-30	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):B81B 7/02 变更事项:发明人变更前:沈方平张珽祁明锋刘瑞丁海燕谷文变更后:沈方平祁明锋刘瑞丁海燕谷文

共 50 条

[1]

一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104176699A ,2014-12-03

[2]

一种MEMS硅基微热板 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN203998937U ,2014-12-10

[3]

一种MEMS硅基微热板及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104108677A ,2014-10-22

[4]

一种具有绝热沟槽的MEMS气体传感器 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204008531U ,2014-12-10

[5]

一种具有绝热沟槽的MEMS气体传感器及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104165902A ,2014-11-26

[6]

一种硅基结构的微热板 [P].

李卫 ;

刘菊燕 ;

丁超 ;

王琳琳 ;

蔡云 ;

潘沛峰 .

中国专利 :CN208182611U ,2018-12-04

[7]

一种基于MEMS技术的微热板 [P].

陈庆彩 ;

孙一凡 ;

呼宇坤 ;

黄华栋 ;

程静雯 ;

徐腾飞 ;

刘欢 .

中国专利 :CN223744925U ,2025-12-30

[8]

一种陶瓷悬梁式MEMS微热板 [P].

井华 ;

谷文 ;

陈红林 .

中国专利 :CN214360245U ,2021-10-08

[9]

一种硅基结构的微热板及其制备方法 [P].

李卫 ;

刘菊燕 ;

丁超 ;

王琳琳 ;

蔡云 ;

潘沛峰 .

中国专利 :CN108439326A ,2018-08-24

[10]

一种基于多孔硅绝热层的微加热板 [P].

李卫 ;

冯志麟 ;

戴恩文 ;

刘菊燕 ;

丁超 .

中国专利 :CN207117979U ,2018-03-16

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