一种具有绝热沟槽的MEMS气体传感器及其加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410345482.4

申请日：

2014-07-18

公开(公告)号：

CN104165902A

公开(公告)日：

2014-11-26

发明(设计)人：

沈方平张珽祁明锋刘瑞丁海燕谷文

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号C517

IPC主分类号：

G01N2700

IPC分类号：

B81B700 B81C100

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-30	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G01N 27/00 变更事项:发明人变更前:沈方平张珽祁明锋刘瑞丁海燕谷文变更后:沈方平祁明锋刘瑞丁海燕谷文
2017-01-18	授权	授权
2014-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101592568190 IPC(主分类):G01N 27/00 专利申请号:2014103454824 申请日:20140718
2014-11-26	公开	公开

共 50 条

[1]

一种具有绝热沟槽的MEMS气体传感器 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204008531U ,2014-12-10

[2]

一种MEMS气体传感器及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104142359A ,2014-11-12

[3]

一种MEMS气体传感器 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204129000U ,2015-01-28

[4]

一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104176699A ,2014-12-03

[5]

一种MEMS气体传感器 [P].

祁明锋 ;

张珽 ;

沈方平 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204128996U ,2015-01-28

[6]

一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204125161U ,2015-01-28

[7]

一种MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

祁明锋 ;

张珽 ;

沈方平 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104181203B ,2014-12-03

[8]

MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

张绍达 ;

高胜国 ;

钟克创 ;

古瑞琴 .

中国专利 :CN105987935A ,2016-10-05

[9]

一种MEMS气体传感器及其加工方法 [P].

任青颖 ;

柳俊文 ;

史晓晶 ;

胡引引 .

中国专利 :CN117401646B ,2024-02-09

[10]

一种MEMS气体传感器及其加工方法 [P].

任青颖 ;

柳俊文 ;

史晓晶 ;

胡引引 .

中国专利 :CN117401646A ,2024-01-16

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