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一种MEMS气体传感器及其加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311697023.8
申请日：
2023-12-12
公开(公告)号：
CN117401646A
公开(公告)日：
2024-01-16
发明(设计)人：
任青颖
柳俊文
史晓晶
胡引引
申请人：
南京元感微电子有限公司
申请人地址：
211106 江苏省南京市江宁开发区将军大道37号翠屏科创园4号楼九层902
IPC主分类号：
B81C1/00
IPC分类号：
B81B7/02
G01N27/12
代理机构：
北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226
代理人：
李明;赵吉阳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
南京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20231212 |
| 2024-02-09 | 授权 | 授权 |
| 2024-01-16 | 公开 | 公开 |