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一种MEMS气体传感器及其制造方法
被引：0
申请号：
CN202210774283.X
申请日：
2022-07-01
公开(公告)号：
CN115015334A
公开(公告)日：
2022-09-06
发明(设计)人：
陈学志
杨云春
陆原
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街99号33幢D栋二层2208号（集中办公区）
IPC主分类号：
G01N2712
IPC分类号：
B81C100
B81B702
代理机构：
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570
代理人：
查薇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-06 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/12 申请日:20220701 |