一种硅基结构的微热板及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810398572.8

申请日：

2018-04-28

公开(公告)号：

CN108439326A

公开(公告)日：

2018-08-24

发明(设计)人：

李卫刘菊燕丁超王琳琳蔡云潘沛峰

申请人：

申请人地址：

210023 江苏省南京市栖霞区文苑路9号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

楼高潮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20180428
2018-08-24	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅基结构的微热板 [P].

李卫 ;

刘菊燕 ;

丁超 ;

王琳琳 ;

蔡云 ;

潘沛峰 .

中国专利 :CN208182611U ,2018-12-04

[2]

一种MEMS硅基微热板及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104108677A ,2014-10-22

[3]

一种MEMS硅基微热板 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN203998937U ,2014-12-10

[4]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643B ,2024-10-11

[5]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643A ,2024-01-16

[6]

一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104176699A ,2014-12-03

[7]

一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204125161U ,2015-01-28

[8]

一种基于多孔硅绝热层的微加热板及其制备方法 [P].

李卫 ;

冯志麟 ;

戴恩文 ;

刘菊燕 ;

丁超 .

中国专利 :CN107404775A ,2017-11-28

[9]

一种陶瓷基微热板及其制备方法 [P].

王锦 ;

张程 ;

张克栋 ;

冯奇 ;

周乾飞 ;

崔铮 ;

李智星 ;

刘福星 .

中国专利 :CN110655034A ,2020-01-07

[10]

一种陶瓷基微热板及其制备方法 [P].

王锦 ;

张程 ;

张克栋 ;

冯奇 ;

周乾飞 ;

崔铮 ;

李智星 ;

刘福星 .

中国专利 :CN110655034B ,2025-04-29

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