一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法

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申请号
CN202210105394.1
申请日
2022-01-28
公开(公告)号
CN114606497A
公开(公告)日
2022-06-10
发明(设计)人
夏敏 宋德生 余德福 肖晋宜 丁德才
申请人
申请人地址
516267 广东省惠州市惠阳区永湖镇老围下村
IPC主分类号
C23F146
IPC分类号
C25B104 C22B326 C22B344
代理机构
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人
邓聪权
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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