一种双氧水系铜钼合金膜用蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410764798.7

申请日：

2014-12-11

公开(公告)号：

CN104498951B

公开(公告)日：

2015-04-08

发明(设计)人：

康威陈昊鄢艳华

申请人：

申请人地址：

518118 广东省深圳市坪山新区沙坣同富裕工业区

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

代理机构：

深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281

代理人：

彭家恩;罗瑶

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101608393289 IPC(主分类):C23F 1/18 专利申请号:2014107647987 申请日:20141211
2017-05-17	授权	授权
2015-04-08	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于TFT铜钼叠层的双氧水系蚀刻液 [P].

洪明卫 ;

邢攸美 ;

李盈盈 ;

高立江 .

中国专利 :CN105908188A ,2016-08-31

[2]

一种铜钼合金膜用蚀刻液 [P].

陈浩 ;

高小云 ;

刘兵 .

中国专利 :CN107151795A ,2017-09-12

[3]

一种双氧水蚀刻液 [P].

高晓义 ;

陈益钢 .

中国专利 :CN120843100A ,2025-10-28

[4]

一种铜蚀刻液用双氧水稳定剂及铜蚀刻液 [P].

王锁 ;

吴际峰 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN118422199A ,2024-08-02

[5]

一种稳态高双氧水铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

侯军 ;

彭仁杰 ;

曹莉芳 ;

张敬坤 ;

何佳丽 ;

刘海林 .

中国专利 :CN120625054A ,2025-09-12

[6]

一种高效无氟铜钼合金膜用蚀刻液 [P].

陈浩 ;

李华平 ;

王润杰 .

中国专利 :CN113755839A ,2021-12-07

[7]

一种铜钼合金膜的化学蚀刻用组合物 [P].

赵大成 ;

康威 ;

陈思宇 ;

郑春怀 ;

鄢艳华 ;

张文涛 .

中国专利 :CN109112545A ,2019-01-01

[8]

一种双氧水稳定剂及双氧水蚀刻液 [P].

高晓义 ;

刘翘楚 ;

季冬晨 ;

苏双峰 ;

胡正山 ;

胡杭剑 .

中国专利 :CN106884167A ,2017-06-23

[9]

一种双氧水系金属蚀刻液组合物及其使用方法 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

赵东 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN118360606A ,2024-07-19

[10]

铜钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

金世训 ;

申孝燮 ;

李宝妍 .

中国专利 :CN103668208B ,2014-03-26

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