清洗装置及清洗方法

被引：0

申请号：

CN202180035345.9

申请日：

2021-05-14

公开(公告)号：

CN115605981A

公开(公告)日：

2023-01-13

发明(设计)人：

田中佑季饭泉健梶川敬之

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-13	公开	公开

共 50 条

[1]

清洗装置及清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN104971916B ,2015-10-14

[2]

清洗装置及清洗方法 [P].

池山裕介 ;

曾根信幸 ;

大岛笃 .

中国专利 :CN113396060B ,2021-09-14

[3]

晶片清洗装置及清洗方法 [P].

刘伟 ;

吴仪 ;

张豹 ;

蔡家骏 ;

初国超 .

中国专利 :CN102641869A ,2012-08-22

[4]

清洗装置及清洗方法 [P].

宋斌 ;

陈锐源 ;

张剑桥 ;

吴先燕 .

中国专利 :CN120709201A ,2025-09-26

[5]

清洗装置及清洗方法 [P].

白川征人 .

日本专利 :CN117730282A ,2024-03-19

[6]

清洗装置及清洗方法 [P].

王善鹤 .

中国专利 :CN114308879A ,2022-04-12

[7]

清洗装置及清洗方法 [P].

于丽 ;

薛永 ;

王东 ;

胡智英 ;

邵英关 ;

张天 .

中国专利 :CN112792076B ,2025-05-13

[8]

清洗装置及清洗方法 [P].

罗君文 ;

常斌 ;

范世超 ;

尹利军 ;

孙慧 ;

唐洪杨 .

中国专利 :CN107442538A ,2017-12-08

[9]

清洗装置及清洗方法 [P].

茂木文雄 ;

桥谷学 ;

渡边年宏 ;

池山裕介 .

日本专利 :CN117546102A ,2024-02-09

[10]

清洗方法及清洗装置 [P].

黄远科 ;

范志翔 .

中国专利 :CN111346875A ,2020-06-30

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