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一种探针机构和可变温真空探针平台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110376402.1
申请日：
2021-04-06
公开(公告)号：
CN113075128A
公开(公告)日：
2021-07-06
发明(设计)人：
方辉
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷二路219号9栋602
IPC主分类号：
G01N2101
IPC分类号：
G01N2184
G01N2702
代理机构：
武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231
代理人：
丁倩
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/01 申请日:20210406 |
| 2021-07-06 | 公开 | 公开 |