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一种真空镀膜掺杂靶材及其制作方法及真空镀膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710703588.0
申请日：
2017-08-16
公开(公告)号：
CN107299326A
公开(公告)日：
2017-10-27
发明(设计)人：
陈立
吴德生
朱得菊
申请人：
申请人地址：
516600 广东省汕尾市市区工业大道信利工业城一区第15栋
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
王宝筠
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-11-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20170816 |
| 2020-10-13 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20171027 |
| 2017-10-27 | 公开 | 公开 |