具有终点检测窗口的化学机械抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510145314.5

申请日：

2015-03-30

公开(公告)号：

CN104942701B

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

钱百年 M·德格鲁特

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

B24B3720

IPC分类号：

B24B3724 B24B3704

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;江磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-30	授权	授权
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631737301 IPC(主分类):B24B 37/20 专利申请号:2015101453145 申请日:20150330
2015-09-30	公开	公开

共 50 条

[1]

具有端点检测窗的化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·W·德格鲁特 .

中国专利 :CN105014527A ,2015-11-04

[2]

终点检测窗口、化学机械抛光垫及其制备方法 [P].

严亮 ;

罗乙杰 ;

占英才 ;

刘聪 ;

林文多 .

中国专利 :CN120865505A ,2025-10-31

[3]

终点检测窗口、化学机械抛光垫及其应用 [P].

谢毓 ;

王凯 .

中国专利 :CN118456278A ,2024-08-09

[4]

终点检测窗口、化学机械抛光垫及其应用 [P].

谢毓 ;

王凯 .

中国专利 :CN118456278B ,2024-12-03

[5]

化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·W·格鲁特 .

中国专利 :CN105014528A ,2015-11-04

[6]

具有清晰端点检测窗的化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·W·格鲁特 .

中国专利 :CN105033841A ,2015-11-11

[7]

具有抛光层和窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·W·德格鲁特 ;

J·穆奈恩 ;

A·雷珀 ;

M·詹森 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 ;

D·B·詹姆斯 ;

叶逢蓟 .

中国专利 :CN104942702A ,2015-09-30

[8]

化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

F·叶 ;

T-C·王 ;

S-H·曾 ;

K·W-H·佟 ;

M·W·德格鲁特 .

中国专利 :CN108687654A ,2018-10-23

[9]

具有窗口的软性且可修整的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·W·德格鲁特 ;

M·K·詹森 ;

J·穆奈恩 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 ;

D·B·詹姆斯 ;

叶逢蓟 .

中国专利 :CN104942700A ,2015-09-30

[10]

具有广谱终点检测窗口的多层化学机械抛光垫 [P].

A·雷珀 ;

D·B·詹姆士 ;

M·A·洛伊格斯 ;

M·德格鲁特 .

中国专利 :CN104029115A ,2014-09-10

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