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终点检测窗口、化学机械抛光垫及其制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510987028.7
申请日：
2025-07-17
公开(公告)号：
CN120865505A
公开(公告)日：
2025-10-31
发明(设计)人：
严亮 罗乙杰 占英才 刘聪 林文多
申请人：
湖北鼎汇微电子材料有限公司 湖北鼎龙汇盛新材料有限公司 湖北鼎龙控股股份有限公司
申请人地址：
430057 湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号
IPC主分类号：
C08G18/66
IPC分类号：
C08G18/48 C08G18/32 C08G18/12 B24B37/34 B24B37/20 G01N3/40 G01N21/59
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-31 公开 公开
2025-11-18 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C08G 18/66申请日:20250717
共 50 条
[1]
具有终点检测窗口的化学机械抛光垫 [P]. 
钱百年 ;
M·德格鲁特 .
中国专利 :CN104942701B ,2015-09-30
[2]
终点检测窗口、化学机械抛光垫及其应用 [P]. 
谢毓 ;
王凯 .
中国专利 :CN118456278A ,2024-08-09
[3]
终点检测窗口、化学机械抛光垫及其应用 [P]. 
谢毓 ;
王凯 .
中国专利 :CN118456278B ,2024-12-03
[4]
化学机械抛光垫 [P]. 
B·钱 ;
M·W·格鲁特 .
中国专利 :CN105014528A ,2015-11-04
[5]
具有端点检测窗的化学机械抛光垫 [P]. 
B·钱 ;
M·W·德格鲁特 .
中国专利 :CN105014527A ,2015-11-04
[6]
具有清晰端点检测窗的化学机械抛光垫 [P]. 
B·钱 ;
M·W·格鲁特 .
中国专利 :CN105033841A ,2015-11-11
[7]
化学机械抛光垫的检测窗及其制备方法 [P]. 
朱顺全 ;
梅黎黎 .
中国专利 :CN105922126B ,2016-09-07
[8]
化学机械抛光垫 [P]. 
B·钱 ;
F·叶 ;
T-C·王 ;
S-H·曾 ;
K·W-H·佟 ;
M·W·德格鲁特 .
中国专利 :CN108687654A ,2018-10-23
[9]
化学机械抛光垫和抛光方法 [P]. 
B·E·巴尔顿 ;
T·布鲁加罗拉斯布鲁福 .
中国专利 :CN114770368A ,2022-07-22
[10]
化学机械抛光垫 [P]. 
M·J·库尔普 ;
T·T·克韦纳克 .
中国专利 :CN101642897A ,2010-02-10
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