超大尺寸半导体单晶硅棒生长方法及单晶硅棒

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专利类型
发明
申请号
CN202011433010.6
申请日
2020-12-14
公开(公告)号
CN112553684A
公开(公告)日
2021-03-26
发明(设计)人
夏秋良 刘坤
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城NW-20#107、108、109、110
IPC主分类号
C30B1522
IPC分类号
C30B2906
代理机构
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人
荣颖佳
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种超大尺寸半导体单晶硅棒生长方法及单晶硅棒 [P]. 
蒋继林 ;
王刚 ;
刘学军 .
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[2]
单晶硅棒生长方法及装置 [P]. 
潘浩 ;
全铉国 .
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[3]
单晶硅棒氧浓度控制方法、单晶硅棒制备方法及单晶硅棒 [P]. 
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[4]
单晶硅棒放肩方法及单晶硅棒 [P]. 
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[5]
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卢建伟 ;
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[6]
单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法 [P]. 
卢建伟 ;
李鑫 .
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[7]
单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构 [P]. 
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[8]
单晶硅生长装置及单晶硅生长方法 [P]. 
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[9]
单晶硅生长方法 [P]. 
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[10]
单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置 [P]. 
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