单晶硅棒生长方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211677268.X

申请日：

2022-12-26

公开(公告)号：

CN116005249B

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

潘浩全铉国

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

C30B15/10

IPC分类号：

C30B15/20 C30B29/06 C30B30/04

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

张博

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法 [P].

星亮二 ;

菅原孝世 .

中国专利 :CN104619893A ,2015-05-13

[2]

单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法 [P].

星亮二 ;

菅原孝世 .

中国专利 :CN108823636A ,2018-11-16

[3]

超大尺寸半导体单晶硅棒生长方法及单晶硅棒 [P].

夏秋良 ;

刘坤 .

中国专利 :CN112553684A ,2021-03-26

[4]

单晶硅生长装置及单晶硅生长方法 [P].

卢哲玮 ;

薛抗美 .

中国专利 :CN111394784A ,2020-07-10

[5]

单晶硅生长方法 [P].

张俊宝 ;

刘浦锋 ;

宋洪伟 ;

陈猛 .

中国专利 :CN105887188A ,2016-08-24

[6]

一种超大尺寸半导体单晶硅棒生长方法及单晶硅棒 [P].

蒋继林 ;

王刚 ;

刘学军 .

中国专利 :CN114717643A ,2022-07-08

[7]

一种单晶硅棒产品，单晶生长设备及单晶生长方法 [P].

张志强 .

中国专利 :CN119753814A ,2025-04-04

[8]

用于单晶硅棒生长的导流装置、生长设备及单晶硅棒生长的方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN113913921B ,2022-01-11

[9]

一种单晶硅生长装置及单晶硅生长方法 [P].

王志辉 .

中国专利 :CN110528064A ,2019-12-03

[10]

单晶生长方法及装置 [P].

潘浩 .

中国专利 :CN117626429A ,2024-03-01

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