用于单晶硅棒生长的导流装置、生长设备及单晶硅棒生长的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111245498.4

申请日：

2021-10-26

公开(公告)号：

CN113913921B

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

请求不公布姓名

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹东路188号方正科技园北区C幢103

IPC主分类号：

C30B1500

IPC分类号：

C30B2906 C30B1520

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

唐菲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-13	授权	授权
2022-01-11	公开	公开
2022-01-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20211026

共 50 条

[1]

单晶硅棒生长检测装置 [P].

张一 .

中国专利 :CN203569241U ,2014-04-30

[2]

单晶硅生长设备和生长单晶硅的方法 [P].

全洙仁 .

中国专利 :CN104583467A ,2015-04-29

[3]

单晶硅的生长设备 [P].

武鹏 ;

贾晨晨 ;

何金凯 ;

王成龙 ;

刘磊 .

中国专利 :CN119530973A ,2025-02-28

[4]

单晶硅的生长设备 [P].

武鹏 ;

贾晨晨 ;

何金凯 ;

王成龙 ;

刘磊 .

中国专利 :CN223738210U ,2025-12-30

[5]

单晶硅生长装置及单晶硅生长方法 [P].

卢哲玮 ;

薛抗美 .

中国专利 :CN111394784A ,2020-07-10

[6]

单晶硅棒生长方法及装置 [P].

潘浩 ;

全铉国 .

中国专利 :CN116005249B ,2025-06-20

[7]

用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒和单晶硅生长装置 [P].

孟涛 ;

闫永兵 ;

余刚 .

中国专利 :CN201864792U ,2011-06-15

[8]

单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法 [P].

星亮二 ;

菅原孝世 .

中国专利 :CN104619893A ,2015-05-13

[9]

单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法 [P].

星亮二 ;

菅原孝世 .

中国专利 :CN108823636A ,2018-11-16

[10]

超大尺寸半导体单晶硅棒生长方法及单晶硅棒 [P].

夏秋良 ;

刘坤 .

中国专利 :CN112553684A ,2021-03-26

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