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半导体装置的制造方法及半导体装置的制造装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510848886.X
申请日：
2015-11-27
公开(公告)号：
CN105990124A
公开(公告)日：
2016-10-05
发明(设计)人：
白河达彦
高桥健司
高野英治
志摩真也
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
H01L21263
B32B4300
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
张世俊
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-09-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758374856 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:201510848886X 登记生效日:20170814 变更事项:申请人 变更前权利人:株式会社东芝 变更后权利人:东芝存储器株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京 变更后权利人:日本东京 |
| 2022-02-22 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/304 变更事项:专利权人 变更前:东芝存储器株式会社 变更后:铠侠股份有限公司 变更事项:地址 变更前:日本东京 变更后:日本东京 |
| 2019-06-14 | 授权 | 授权 |
| 2022-02-22 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/304 变更事项:专利权人 变更前:株式会社PANGEA 变更后:东芝存储器株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京 变更后:日本东京 |
| 2016-10-05 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/304 登记生效日:20220210 变更事项:专利权人 变更前权利人:东芝存储器株式会社 变更后权利人:株式会社PANGEA 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京 变更后权利人:日本东京 |
| 2016-11-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686678854 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:201510848886X 申请日:20151127 |