偏光对位检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910266978.5

申请日：

2019-04-03

公开(公告)号：

CN111781169A

公开(公告)日：

2020-10-16

发明(设计)人：

蔡姓贤李朱育

申请人：

申请人地址：

中国台湾桃园市

IPC主分类号：

G01N2159

IPC分类号：

G01N2101 G01M1102

代理机构：

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139

代理人：

孙皓晨;侯奇慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/59 申请日:20190403
2020-10-16	公开	公开

共 50 条

[1]

偏光对位检测装置及检测方法 [P].

蔡姓贤 .

中国专利 :CN111781170A ,2020-10-16

[2]

光学对位检测装置及其检测方法 [P].

洪国智 ;

李朱育 .

中国专利 :CN110389019B ,2019-10-29

[3]

光学对位检测装置及光学对位检测方法 [P].

李朱育 ;

翁伟成 ;

蔡姓贤 .

中国专利 :CN120831221A ,2025-10-24

[4]

对位检测装置及对位检测方法 [P].

徐晓华 ;

张良 ;

辛华伟 ;

程尚之 ;

周肃 ;

龚道仁 ;

王文静 .

中国专利 :CN113594078A ,2021-11-02

[5]

对位检测方法和对位检测装置 [P].

李英俊 ;

张爱云 .

中国专利 :CN101403829A ,2009-04-08

[6]

偏光板检测装置及检测方法 [P].

陈志忠 ;

王伯萍 ;

廖尤仲 .

中国专利 :CN1904672A ,2007-01-31

[7]

光学对位检测装置及其检测方法 [P].

林翊涵 ;

蔡姓贤 .

中国专利 :CN112902835A ,2021-06-04

[8]

对位检测图案、对位检测方法及系统 [P].

蔡适聪 .

中国专利 :CN118248677A ,2024-06-25

[9]

相对位置检测方法及检测装置 [P].

徐丹 .

中国专利 :CN110174645A ,2019-08-27

[10]

一种对位检测方法及对位检测装置、存储介质 [P].

陈鲁 ;

肖遥 ;

张鹏斌 .

中国专利 :CN120410958A ,2025-08-01

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