对位检测图案、对位检测方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410336977.4

申请日：

2024-03-22

公开(公告)号：

CN118248677A

公开(公告)日：

2024-06-25

发明(设计)人：

蔡适聪

申请人：

蔡适聪

申请人地址：

河南省洛阳市洛龙区开元大道210号建业智慧港1903室

IPC主分类号：

H01L23/544

IPC分类号：

H01L21/66

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

贺财俊;黄健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-25	公开	公开
2024-07-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/544申请日:20240322
2025-07-08	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 23/544登记生效日:20250623变更事项:申请人变更前权利人:陈文贤变更后权利人:普思半导体股份有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国台湾变更后权利人:中国台湾变更事项:地址变更前权利人:中国台湾高雄市楠梓区加昌路777号10楼变更后权利人:中国台湾台南市中西区南美里民生路1段100号
2025-01-28	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 23/544登记生效日:20250113变更事项:申请人变更前权利人:蔡适聪变更后权利人:陈文贤变更事项:国家或地区变更前权利人:中国台湾变更后权利人:中国台湾变更事项:地址变更前权利人:471023 河南省洛阳市洛龙区开元大道210号建业智慧港1903室变更后权利人:中国台湾高雄市楠梓区加昌路777号10楼

共 50 条

[1]

对位装置、对位检测方法及对位系统 [P].

张霁 ;

边征 ;

辛帅 .

中国专利 :CN105215760A ,2016-01-06

[2]

对位检测装置及对位检测方法 [P].

徐晓华 ;

张良 ;

辛华伟 ;

程尚之 ;

周肃 ;

龚道仁 ;

王文静 .

中国专利 :CN113594078A ,2021-11-02

[3]

对位检测结构、线路板及对位检测方法 [P].

李鸿辉 ;

曹振兴 .

中国专利 :CN115962720B ,2024-08-06

[4]

对位标和对位检测方法 [P].

金立奎 ;

车世民 ;

汪汇东 ;

王细心 .

中国专利 :CN107734827A ,2018-02-23

[5]

对位检测图案、叠对误差校正方法，及对位校正系统 [P].

王桢坤 .

中国专利 :CN117850176A ,2024-04-09

[6]

光学对位检测装置及光学对位检测方法 [P].

李朱育 ;

翁伟成 ;

蔡姓贤 .

中国专利 :CN120831221A ,2025-10-24

[7]

对位检测方法和对位检测装置 [P].

李英俊 ;

张爱云 .

中国专利 :CN101403829A ,2009-04-08

[8]

偏光对位检测装置及检测方法 [P].

蔡姓贤 ;

李朱育 .

中国专利 :CN111781169A ,2020-10-16

[9]

相对位置检测方法及检测系统 [P].

孙琦 ;

胡守岩 ;

姚威 .

中国专利 :CN110174646B ,2019-08-27

[10]

一种显示面板对位检测治具及对位检测方法 [P].

赵瑞龙 ;

王志强 ;

唐乌力吉白尔 ;

张文龙 ;

邱亚栋 ;

张建平 ;

冯晓青 ;

韩璐 ;

刘元 ;

王薇慧 ;

陈文君 .

中国专利 :CN113934028A ,2022-01-14

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