一种多功能晶圆清洗花篮

被引：0

申请号：

CN202122685488.4

申请日：

2021-11-04

公开(公告)号：

CN216354098U

公开(公告)日：

2022-04-19

发明(设计)人：

韩亚萍胡路

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区华枫路259号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345

代理人：

王利斌

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种圆晶清洗花篮 [P].

袁黔云 .

中国专利 :CN222146162U ,2024-12-10

[2]

晶圆清洗花篮 [P].

俞挺 ;

张学敏 ;

魏红霞 .

中国专利 :CN205564720U ,2016-09-07

[3]

一种晶圆清洗花篮 [P].

熊祥祥 ;

廖鸿峰 .

中国专利 :CN223566593U ,2025-11-18

[4]

一种晶圆清洗花篮 [P].

成飞 .

中国专利 :CN215527692U ,2022-01-14

[5]

一种晶圆清洗花篮 [P].

曹刚 .

中国专利 :CN222705470U ,2025-04-01

[6]

一种高效多用晶圆清洗花篮 [P].

金帅甲 .

中国专利 :CN206897947U ,2018-01-19

[7]

晶圆清洗花篮及晶圆清洗系统 [P].

程谦 ;

王虎 ;

陈贤辉 .

中国专利 :CN208781813U ,2019-04-23

[8]

一种定位晶圆清洗花篮 [P].

袁黔云 .

中国专利 :CN221805488U ,2024-10-01

[9]

一种晶圆单片清洗花篮 [P].

李松松 ;

成飞 .

中国专利 :CN213716856U ,2021-07-16

[10]

一种高效晶圆清洗花篮 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN216928516U ,2022-07-08

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