一种基于蓝光激光直写的金属微结构加工方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310012614.7
申请日
2013-01-15
公开(公告)号
CN103072940B
公开(公告)日
2013-05-01
发明(设计)人
刘建军 洪治 王文涛 李向军 武东伟
申请人
申请人地址
310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号
IPC主分类号
B81C100
IPC分类号
G03F720
代理机构
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人
陈昱彤
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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