一种基于双频激光干涉原理的精确位移监测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710601334.8

申请日：

2017-07-21

公开(公告)号：

CN107339941A

公开(公告)日：

2017-11-10

发明(设计)人：

孔令豹周攀宇徐敏

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

G01B1103

IPC分类号：

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;陆尤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/03 申请日:20170721
2021-10-26	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B 11/03 申请公布日:20171110
2017-11-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于双频激光干涉原理的多自由度精确位移监测系统 [P].

孔令豹 ;

周攀宇 .

中国专利 :CN108180844A ,2018-06-19

[2]

一种双频激光位移和角度干涉仪 [P].

赵世杰 ;

李岩 ;

尉昊赟 .

中国专利 :CN103697807A ,2014-04-02

[3]

一种四倍程的双频外差激光干涉仪 [P].

刘亚睿 ;

许素安 ;

钱飞 ;

张锋 .

中国专利 :CN205014944U ,2016-02-03

[4]

一种双频激光干涉仪 [P].

张志平 ;

肖鹏飞 ;

张晓文 ;

池峰 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN101566459A ,2009-10-28

[5]

一种双频激光干涉仪装置 [P].

肖鹏飞 ;

张志平 ;

张晓文 ;

任胜伟 ;

池峰 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN101598530A ,2009-12-09

[6]

一种双频激光干涉测量系统的相位解算算法 [P].

韩家广 ;

李新建 ;

张文涛 ;

杜浩 ;

熊显名 ;

苏丁华 ;

曾洁萍 ;

高腾 ;

刁锡卿 ;

谷兴泉 ;

李承航 .

中国专利 :CN118548994A ,2024-08-27

[7]

一种双频激光干涉仪 [P].

王宁 ;

张文华 ;

高为宫 .

中国专利 :CN115388759A ,2022-11-25

[8]

一种双频激光干涉仪多轴位移信号处理方法 [P].

朱煜 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

陈龙敏 ;

杨开明 ;

张鸣 ;

徐登峰 ;

穆海华 ;

胡楚雄 ;

刘召 .

中国专利 :CN102589413A ,2012-07-18

[9]

一种一体式双频激光干涉仪 [P].

肖鹏飞 ;

张志平 ;

张晓文 ;

任胜伟 ;

池峰 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN102128588A ,2011-07-20

[10]

一种基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统和方法 [P].

刘志平 ;

李煜 ;

胡鹏 .

中国专利 :CN118731052A ,2024-10-01

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