一种ALD镀膜载具

被引：0

申请号：

CN202222397848.5

申请日：

2022-09-09

公开(公告)号：

CN218465937U

公开(公告)日：

2023-02-10

发明(设计)人：

戴兴旺李宁居法银

申请人：

申请人地址：

316054 浙江省舟山市定海区定海工业园区创园大道10号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C16458 C23C1604 H01L21673

代理机构：

宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243

代理人：

邝晨欢

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种镀膜载具 [P].

孙连仲 .

中国专利 :CN221398019U ,2024-07-23

[2]

一种镀膜载具 [P].

黎微明 ;

姚良 .

中国专利 :CN207918949U ,2018-09-28

[3]

一种新型ALD镀膜防绕镀夹具 [P].

戴兴旺 .

中国专利 :CN221740438U ,2024-09-20

[4]

一种载板、镀膜载具和镀膜系统 [P].

朱广东 ;

李华 ;

靳玉鹏 .

中国专利 :CN216998561U ,2022-07-19

[5]

一种硅片镀膜载具及真空镀膜设备 [P].

戴佳 ;

朱鹤囡 ;

孔琪 ;

董雪迪 ;

李勃 .

中国专利 :CN222182425U ,2024-12-17

[6]

一种硅片镀膜载具 [P].

田西林 ;

张伟 ;

张娟 ;

陈跃 ;

崔国庆 ;

卞强 .

中国专利 :CN210325728U ,2020-04-14

[7]

一种表面镀膜载具 [P].

孙丰 .

中国专利 :CN213716853U ,2021-07-16

[8]

一种双面镀膜载具 [P].

戴军 ;

罗银兵 ;

尹鹏 .

中国专利 :CN223134573U ,2025-07-22

[9]

一种ALD镀膜装置及ALD镀膜设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223087912U ,2025-07-11

[10]

一种晶圆载具 [P].

刘宗超 .

中国专利 :CN207217497U ,2018-04-10

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