一种晶圆载具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721125130.3

申请日：

2017-09-04

公开(公告)号：

CN207217497U

公开(公告)日：

2018-04-10

发明(设计)人：

刘宗超

申请人：

申请人地址：

610029 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区物联网产业园内

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

成都华风专利事务所(普通合伙) 51223

代理人：

徐丰;张巨箭

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆载具 [P].

宣荣卫 ;

吕俊 .

中国专利 :CN212485283U ,2021-02-05

[2]

一种晶圆载具 [P].

莫中友 .

中国专利 :CN206672907U ,2017-11-24

[3]

一种晶圆载具 [P].

刘剑 ;

侯华 ;

陈刚 ;

唐涛 ;

何天棋 .

中国专利 :CN212648212U ,2021-03-02

[4]

一种晶圆载盘载具 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221687501U ,2024-09-10

[5]

晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统 [P].

谷泓毅 ;

陈顺利 ;

赵波 ;

张笑笑 .

中国专利 :CN223193774U ,2025-08-05

[6]

一种晶圆载具的检测工装 [P].

宣荣卫 ;

陈娟 .

中国专利 :CN113357991A ,2021-09-07

[7]

一种绝缘晶圆载盘 [P].

宣荣卫 ;

吕俊 .

中国专利 :CN211743105U ,2020-10-23

[8]

电子辐照用晶圆载具 [P].

王欣松 .

中国专利 :CN117457553A ,2024-01-26

[9]

晶圆载具 [P].

尹伟斌 ;

徐玉春 .

中国专利 :CN217507281U ,2022-09-27

[10]

晶圆载具 [P].

许峯嘉 ;

刘现营 .

中国专利 :CN206947308U ,2018-01-30

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