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晶圆载具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201720914885.5
申请日：
2017-07-26
公开(公告)号：
CN206947308U
公开(公告)日：
2018-01-30
发明(设计)人：
许峯嘉
刘现营
申请人：
申请人地址：
201616 上海市松江区思贤路3600号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
上海弼兴律师事务所 31283
代理人：
王卫彬;何桥云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-30 | 授权 | 授权 |
| 2018-07-13 | 避免重复授权放弃专利权 | 避免重复授予专利权 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20170726 授权公告日:20180130 放弃生效日:20180703 |