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晶圆载具仓储系统

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421864418.2
申请日：
2024-08-02
公开(公告)号：
CN222988957U
公开(公告)日：
2025-06-17
发明(设计)人：
陈安如 周菀莹
申请人：
三和技研股份有限公司
申请人地址：
中国台湾新竹县芎林乡五龙村五和街228号
IPC主分类号：
B65G1/04
IPC分类号：
B65G1/137
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
方艳;臧建明
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-17 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆载具仓储系统 [P]. 
吴庭源 ;
周菀莹 .
中国专利 :CN223015518U ,2025-06-24
[2]
晶圆载具 [P]. 
尹伟斌 ;
徐玉春 .
中国专利 :CN217507281U ,2022-09-27
[3]
晶圆载具 [P]. 
许峯嘉 ;
刘现营 .
中国专利 :CN206947308U ,2018-01-30
[4]
晶圆载具 [P]. 
陈宜萱 ;
陈慧贞 ;
王国富 .
中国专利 :CN208173569U ,2018-11-30
[5]
晶圆载具 [P]. 
胥庆亮 ;
靳璞磊 ;
万晟睿 .
中国专利 :CN222690657U ,2025-03-28
[6]
晶圆框架载具 [P]. 
潘咏晋 ;
林志铭 ;
邱铭乾 .
中国专利 :CN209177290U ,2019-07-30
[7]
晶圆载具及晶圆涂胶设备 [P]. 
雷艳 ;
倪维涛 ;
毕秀文 ;
袁六婕 ;
闫跃江 .
中国专利 :CN220420546U ,2024-01-30
[8]
晶圆蚀刻载具装置 [P]. 
胡泰祥 .
中国专利 :CN209328874U ,2019-08-30
[9]
薄晶圆测试载具 [P]. 
平登宏 ;
刘奇 .
中国专利 :CN216696389U ,2022-06-07
[10]
晶圆盒仓储系统 [P]. 
游兆胜 ;
简呈儒 ;
刘于漩 ;
谢政达 .
中国专利 :CN110884813B ,2020-03-17
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