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晶圆载具
被引：0
申请号：
CN202220675319.4
申请日：
2022-03-26
公开(公告)号：
CN217507281U
公开(公告)日：
2022-09-27
发明(设计)人：
尹伟斌
徐玉春
申请人：
申请人地址：
315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路479号科创大楼13层1306室
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
郭四华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-27 | 授权 | 授权 |