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一种晶圆载具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020541309.2
申请日：
2020-04-13
公开(公告)号：
CN212485283U
公开(公告)日：
2021-02-05
发明(设计)人：
宣荣卫
吕俊
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330
代理人：
刘刚
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-05 | 授权 | 授权 |