一种晶圆载具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010288318.X

申请日：

2020-04-13

公开(公告)号：

CN111341708B

公开(公告)日：

2024-08-16

发明(设计)人：

宣荣卫吕俊

申请人：

艾华（无锡）半导体科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330

代理人：

刘刚

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆载具 [P].

宣荣卫 ;

吕俊 .

中国专利 :CN212485283U ,2021-02-05

[2]

一种晶圆载具 [P].

宣荣卫 ;

吕俊 .

中国专利 :CN111341708A ,2020-06-26

[3]

晶圆载具 [P].

张炯康 .

中国专利 :CN223066133U ,2025-07-04

[4]

一种晶圆载具 [P].

刘宗超 .

中国专利 :CN207217497U ,2018-04-10

[5]

一种晶圆载具 [P].

洪巧水 ;

朱明伟 ;

刘小波 .

中国专利 :CN223206239U ,2025-08-08

[6]

一种晶圆载具 [P].

莫中友 .

中国专利 :CN206672907U ,2017-11-24

[7]

一种晶圆载盘载具 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221687501U ,2024-09-10

[8]

晶圆载具（159） [P].

李德平 ;

强音 .

中国专利 :CN307496222S ,2022-08-12

[9]

晶圆载具及晶圆涂胶设备 [P].

雷艳 ;

倪维涛 ;

毕秀文 ;

袁六婕 ;

闫跃江 .

中国专利 :CN220420546U ,2024-01-30

[10]

一种悬挂式晶圆载具 [P].

宣荣卫 ;

吕俊 .

中国专利 :CN211743106U ,2020-10-23

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