用于曝光机的平台装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320103473.5

申请日：

2013-03-07

公开(公告)号：

CN203117639U

公开(公告)日：

2013-08-07

发明(设计)人：

张文明

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省昆山市开发区柏庐南路999号吉田国际广场2号楼604室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101714988082 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013201034735 申请日:20130307 授权公告日:20130807 终止日期:20160307
2013-08-07	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光机的平台装置 [P].

王俊元 .

中国专利 :CN201828768U ,2011-05-11

[2]

曝光机用平台装置 [P].

张永裕 ;

陈立扬 .

中国专利 :CN202210214U ,2012-05-02

[3]

曝光平台装置及曝光机 [P].

丁华龙 .

中国专利 :CN111965945A ,2020-11-20

[4]

LCD曝光平台装置及曝光系统 [P].

陈孝贤 .

中国专利 :CN202257028U ,2012-05-30

[5]

曝光机的曝光平台 [P].

张鸿明 .

中国专利 :CN203858451U ,2014-10-01

[6]

一种柔性曝光机升降平台装置 [P].

冯梦飞 ;

王群 ;

孙行 .

中国专利 :CN217085507U ,2022-07-29

[7]

一种用于激光直写曝光机的曝光平台 [P].

王历先 .

中国专利 :CN211669496U ,2020-10-13

[8]

一种柔性曝光机升降平台装置 [P].

余燕青 ;

甘泉 .

中国专利 :CN210691040U ,2020-06-05

[9]

曝光平台装置及曝光系统 [P].

丁华龙 .

中国专利 :CN111158218A ,2020-05-15

[10]

工作台装置及曝光机 [P].

程亮 .

中国专利 :CN209674181U ,2019-11-22

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