化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621405530.5

申请日：

2016-12-21

公开(公告)号：

CN206256165U

公开(公告)日：

2017-06-16

发明(设计)人：

左敏

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新区行创四路7号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

南京知识律师事务所 32207

代理人：

朱少华

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-19	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20161221 授权公告日:20170616 放弃生效日:20190219
2017-06-16	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备 [P].

左敏 .

中国专利 :CN106435528A ,2017-02-22

[2]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[3]

化学气相沉积设备 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN102108498B ,2011-06-29

[4]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223373222U ,2025-09-23

[5]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223268760U ,2025-08-26

[6]

化学气相沉积设备 [P].

郭国平 ;

杨晖 ;

李海欧 ;

曹刚 ;

肖明 ;

郭光灿 .

中国专利 :CN207418858U ,2018-05-29

[7]

化学气相沉积设备 [P].

李一成 ;

汪宇澄 .

中国专利 :CN202499905U ,2012-10-24

[8]

化学气相沉积设备 [P].

许嘉麟 .

中国专利 :CN102373438A ,2012-03-14

[9]

空间催化式化学气相沉积设备 [P].

乐阳 .

中国专利 :CN108559975A ,2018-09-21

[10]

化学气相沉积设备 [P].

金昶成 ;

刘相德 ;

洪钟波 ;

沈智慧 ;

李元申 .

中国专利 :CN102230167A ,2011-11-02

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