基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680068848.5

申请日：

2016-11-17

公开(公告)号：

CN108292599B

公开(公告)日：

2018-07-17

发明(设计)人：

小佐井一树甲斐義广五师源太郎小宫洋司藤本诚也大塚贵久

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/306 申请日:20161117
2022-06-10	授权	授权
2018-07-17	公开	公开

共 50 条

[1]

基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质 [P].

吉田博司 ;

石井佑树 .

日本专利 :CN110858556B ,2024-11-22

[2]

基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质 [P].

吉田博司 ;

石井佑树 .

中国专利 :CN110858556A ,2020-03-03

[3]

基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质 [P].

佐藤秀明 .

中国专利 :CN107895702A ,2018-04-10

[4]

基板液处理装置、基板液处理方法以及存储介质 [P].

田中裕司 ;

平山司 ;

稻田尊士 .

中国专利 :CN107492511A ,2017-12-19

[5]

基板液处理方法、基板液处理装置以及存储介质 [P].

本田拓巳 ;

佐野和成 ;

百武宏展 .

中国专利 :CN110556294A ,2019-12-10

[6]

基板液处理装置、基板液处理方法以及存储介质 [P].

土屋孝文 ;

石井佑树 ;

益富裕之 ;

藤津成吾 .

中国专利 :CN109494152A ,2019-03-19

[7]

基板液处理装置、基板液处理方法以及存储介质 [P].

益富裕之 ;

盐川俊行 ;

田中幸二 ;

佐藤尊三 .

中国专利 :CN107644824A ,2018-01-30

[8]

基板液处理装置、基板液处理方法以及存储介质 [P].

佐藤秀明 .

中国专利 :CN107579020A ,2018-01-12

[9]

基板液处理方法、基板液处理装置以及存储介质 [P].

本田拓巳 ;

佐野和成 ;

百武宏展 .

日本专利 :CN110556294B ,2024-07-09

[10]

基板液处理装置和存储介质 [P].

河津贵裕 ;

土屋孝文 ;

佐藤秀明 ;

荒竹英将 ;

黑田修 ;

永井高志 ;

原田二郎 .

中国专利 :CN109494175A ,2019-03-19

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