基板液处理装置、基板液处理方法以及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811055905.3

申请日：

2018-09-11

公开(公告)号：

CN109494152A

公开(公告)日：

2019-03-19

发明(设计)人：

土屋孝文石井佑树益富裕之藤津成吾

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21302

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-19	公开	公开
2020-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/302 申请日:20180911

共 50 条

[1]

基板液处理装置、基板液处理方法以及存储介质 [P].

田中裕司 ;

平山司 ;

稻田尊士 .

中国专利 :CN107492511A ,2017-12-19

[2]

基板液处理方法、基板液处理装置以及存储介质 [P].

本田拓巳 ;

佐野和成 ;

百武宏展 .

中国专利 :CN110556294A ,2019-12-10

[3]

基板液处理装置、基板液处理方法以及存储介质 [P].

益富裕之 ;

盐川俊行 ;

田中幸二 ;

佐藤尊三 .

中国专利 :CN107644824A ,2018-01-30

[4]

基板液处理装置、基板液处理方法以及存储介质 [P].

佐藤秀明 .

中国专利 :CN107579020A ,2018-01-12

[5]

基板液处理方法、基板液处理装置以及存储介质 [P].

本田拓巳 ;

佐野和成 ;

百武宏展 .

日本专利 :CN110556294B ,2024-07-09

[6]

基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质 [P].

吉田博司 ;

石井佑树 .

日本专利 :CN110858556B ,2024-11-22

[7]

基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质 [P].

小佐井一树 ;

甲斐義广 ;

五师源太郎 ;

小宫洋司 ;

藤本诚也 ;

大塚贵久 .

中国专利 :CN108292599B ,2018-07-17

[8]

基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质 [P].

吉田博司 ;

石井佑树 .

中国专利 :CN110858556A ,2020-03-03

[9]

基板处理装置、液处理方法以及存储介质 [P].

藤田阳 ;

水野刚资 .

中国专利 :CN107275253B ,2017-10-20

[10]

液处理方法、基板处理装置以及存储介质 [P].

丸山裕隆 .

中国专利 :CN107154371A ,2017-09-12

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