一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010137164.4

申请日：

2020-03-02

公开(公告)号：

CN111266586A

公开(公告)日：

2020-06-12

发明(设计)人：

魏海根张真张春徐彬吴勇

申请人：

申请人地址：

238072 安徽省合肥市巢湖市烔炀镇纬二路9号

IPC主分类号：

B22F3115

IPC分类号：

C22C2100 C22F104 C23C1434 B21J106 B21J500 B21C2300 B21C2900

代理机构：

合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160

代理人：

杨润

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B22F 3/115 申请公布日:20200612
2020-06-12	公开	公开
2020-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B22F 3/115 申请日:20200302

共 50 条

[1]

一种大尺寸、高致密度钼靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周友平 ;

孙慧芳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115502403A ,2022-12-23

[2]

高致密度的硅铝旋转靶材的制备方法 [P].

刚爽 ;

杨晔 ;

朱永明 .

中国专利 :CN108707870A ,2018-10-26

[3]

一种高致密度ITO靶材的烧结方法 [P].

方宏 ;

王政红 ;

武创 .

中国专利 :CN104773998A ,2015-07-15

[4]

高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法 [P].

王铁军 ;

林同伟 ;

周卫华 ;

刘国辉 ;

熊宁 ;

陈飞雄 ;

刘慧渊 .

中国专利 :CN103320756B ,2013-09-25

[5]

一种高致密度铝钛合金靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

张怡忠 ;

吴东青 .

中国专利 :CN120989563A ,2025-11-21

[6]

高致密度AZO靶材及其制备方法 [P].

王铁军 ;

张凤戈 ;

唐培新 ;

高明 ;

张路长 ;

姚惠龙 ;

缪磊 ;

王江廷 ;

孙右文 .

中国专利 :CN104418592A ,2015-03-18

[7]

一种高致密度AZO靶材的制备方法 [P].

刘苗 ;

孙本双 ;

何季麟 ;

刘洋 ;

王之君 ;

陈杰 ;

曾学云 .

中国专利 :CN120817800A ,2025-10-21

[8]

一种高致密度AZO靶材的制备方法 [P].

李召阳 ;

李彬 ;

李继文 ;

上官林建 ;

聂福全 ;

贾铁昆 ;

任二洲 ;

卢艳阳 ;

宋伟志 ;

牛一旭 ;

高雪 .

中国专利 :CN118324539A ,2024-07-12

[9]

一种晶粒均匀高致密大尺寸钼靶材的制备方法 [P].

栾泽超 ;

娄佳 ;

马窦琴 ;

刘聪贤 ;

杨蝶 ;

闫艺文 ;

张有程 ;

张琦飞 ;

杨帆 ;

姬佳乐 ;

王振博 ;

朱汉逸 ;

刘振伟 ;

王文玉 ;

谢敬佩 ;

王爱琴 ;

王文焱 ;

陈艳芳 ;

赵海丽 .

中国专利 :CN118996351A ,2024-11-22

[10]

一种高致密度ITO旋转靶的烧结方法 [P].

师琳璞 ;

方宏 ;

刘冠鹏 ;

杨硕 .

中国专利 :CN107445609B ,2017-12-08

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