基于空气隔热层的MEMS微热板及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010505550.4

申请日：

2020-06-05

公开(公告)号：

CN111693577B

公开(公告)日：

2020-09-22

发明(设计)人：

杨翠毛维闵星艾治州史芝纲王晓飞

申请人：

申请人地址：

710071 陕西省西安市太白南路2号

IPC主分类号：

G01N2712

IPC分类号：

H05B320 B81C100 B81B702

代理机构：

陕西电子工业专利中心 61205

代理人：

王品华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	授权	授权
2020-09-22	公开	公开
2022-11-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01N 27/12 登记生效日:20221116 变更事项:专利权人变更前权利人:西安电子科技大学变更后权利人:复微感知(合肥)科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:710071 陕西省西安市太白南路2号变更后权利人:230022 安徽省合肥市经济技术开发区九龙路478号高校三创园1号楼15层1508室
2020-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/12 申请日:20200605

共 50 条

[1]

具有真空隔热层的MEMS微热板及其制备方法 [P].

朱敏杰 ;

刘帅 ;

杜晓辉 ;

王洲 ;

刘丹 .

中国专利 :CN113998663A ,2022-02-01

[2]

一种MEMS微热板式气体传感器及其制作方法 [P].

马天军 ;

李娜 ;

王振义 .

中国专利 :CN118533896A ,2024-08-23

[3]

一种微热板及其制作方法 [P].

杨黎 ;

孙浩 ;

侯明 ;

郭胜惠 ;

江国鑫 ;

赵秋妮 ;

叶小磊 .

中国专利 :CN119706733A ,2025-03-28

[4]

一种用于气体传感器的MEMS微热板及制作方法 [P].

马清杰 .

中国专利 :CN117783217A ,2024-03-29

[5]

MEMS微热板的制备方法及MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

李明杰 .

中国专利 :CN114380269B ,2025-05-06

[6]

MEMS微热板的制备方法及MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

李明杰 .

中国专利 :CN114380269A ,2022-04-22

[7]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643B ,2024-10-11

[8]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643A ,2024-01-16

[9]

微热板和微热板的制作方法 [P].

尤政 ;

鲁文帅 ;

尤睿 ;

阮勇 .

中国专利 :CN110806432A ,2020-02-18

[10]

一种基于MEMS技术的微热板 [P].

陈庆彩 ;

孙一凡 ;

呼宇坤 ;

黄华栋 ;

程静雯 ;

徐腾飞 ;

刘欢 .

中国专利 :CN223744925U ,2025-12-30

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