具有真空隔热层的MEMS微热板及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111279740.X

申请日：

2021-10-29

公开(公告)号：

CN113998663A

公开(公告)日：

2022-02-01

发明(设计)人：

朱敏杰刘帅杜晓辉王洲刘丹

申请人：

申请人地址：

100055 北京市西城区广安门外大街甲397号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81B700 B81C100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王文思

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-01	公开	公开
2022-02-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20211029

共 50 条

[1]

基于空气隔热层的MEMS微热板及其制作方法 [P].

杨翠 ;

毛维 ;

闵星 ;

艾治州 ;

史芝纲 ;

王晓飞 .

中国专利 :CN111693577B ,2020-09-22

[2]

MEMS微热板的制备方法及MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

李明杰 .

中国专利 :CN114380269B ,2025-05-06

[3]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643B ,2024-10-11

[4]

MEMS微热板的制备方法及MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

李明杰 .

中国专利 :CN114380269A ,2022-04-22

[5]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643A ,2024-01-16

[6]

具有隔热层的磨盘 [P].

耿彦昌 .

中国专利 :CN108525769A ,2018-09-14

[7]

一种隔热层结构及其隔热板 [P].

魏道清 .

中国专利 :CN216142197U ,2022-03-29

[8]

具有应力调节层的微热板 [P].

崔铮 ;

张克栋 ;

余飞 ;

陈晓跃 ;

刘福星 ;

周健 .

中国专利 :CN212572999U ,2021-02-19

[9]

真空炉隔热层的改进 [P].

李荣华 .

中国专利 :CN101134989A ,2008-03-05

[10]

一种具有真空隔热层的耐高温电子雷管 [P].

李洪伟 ;

刘涛 ;

梁昊 ;

刘伟 ;

周恩 ;

杨霖 ;

吴延梦 ;

黄妍 .

中国专利 :CN117589018A ,2024-02-23

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