硅片切割清洗液自动混液供液装置

被引：0

申请号：

CN202220842074.X

申请日：

2022-04-12

公开(公告)号：

CN217009143U

公开(公告)日：

2022-07-19

发明(设计)人：

孙刚张庆祝山科佳弘副岛和彦

申请人：

申请人地址：

264200 山东省威海市火炬高技术产业开发区科技路181号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B308 B08B1300

代理机构：

威海科星专利事务所 37202

代理人：

初姣姣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗液防堵供液装置 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN221841805U ,2024-10-15

[2]

硅片清洗液 [P].

王禄宝 ;

王海庆 ;

王友 ;

路景刚 .

中国专利 :CN103695190B ,2014-04-02

[3]

清洗液自动消泡装置 [P].

李奇奇 ;

赵占岭 ;

韩继伟 .

中国专利 :CN208130564U ,2018-11-23

[4]

硅片清洗供液装置 [P].

刘季 ;

吕剑 ;

苏亚青 .

中国专利 :CN112808681A ,2021-05-18

[5]

清洗液自动配比装置 [P].

宋洁 ;

张力冲 ;

汪博 ;

李岩松 ;

孟祥瑞 .

中国专利 :CN202275084U ,2012-06-13

[6]

清洗液分流装置 [P].

朱汉泉 ;

王金燕 ;

刘欣 ;

陈焕菊 ;

马振鸣 ;

李波 ;

潘红军 .

中国专利 :CN206910931U ,2018-01-23

[7]

清洗液循环系统用集液装置 [P].

卢小平 ;

周飞 .

中国专利 :CN204934125U ,2016-01-06

[8]

清洗液液位检测 [P].

马哈茂德·尤瑟夫·加纳姆 ;

布兰登·希克斯 ;

文卡特什·克里希南 ;

大卫·J·施密特 .

中国专利 :CN110207718A ,2019-09-06

[9]

一种划片机切割水清洗液自动加液装置 [P].

吴斌 ;

吴家乐 ;

杭丹丹 ;

杭琪琪 .

中国专利 :CN210589981U ,2020-05-22

[10]

清洗液重复使用集液装置 [P].

王震 ;

蒋增文 ;

王习宇 .

中国专利 :CN201353576Y ,2009-12-02

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