叠层虚拟掩模版的装置及集成硅光子集成芯片的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210355291.7
申请日
2012-09-21
公开(公告)号
CN102902165B
公开(公告)日
2013-01-30
发明(设计)人
胡朝阳 余焘 石章如
申请人
申请人地址
430000 湖北省武汉市汉阳建港长航新村214号101室
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
G03F900 H01L21027
代理机构
武汉开元知识产权代理有限公司 42104
代理人
唐正玉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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