一种碳化硅籽晶的处理方法和碳化硅晶体的生长方法

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申请号
CN202211523460.3
申请日
2022-12-01
公开(公告)号
CN115595663A
公开(公告)日
2023-01-13
发明(设计)人
李佳君 王蓉 皮孝东 高万冬 沈典宇 杨德仁
申请人
申请人地址
310000 浙江省杭州市市心北路99号5楼
IPC主分类号
C30B2936
IPC分类号
C30B3310 C30B3312 C30B2300
代理机构
杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260
代理人
姚宇吉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
籽晶处理方法及碳化硅晶体的生长方法 [P]. 
张永伟 ;
袁振洲 ;
刘欣宇 .
中国专利 :CN116837456B ,2024-02-23
[2]
碳化硅籽晶、碳化硅籽晶组件及其制备方法和制备碳化硅晶体的方法 [P]. 
蔡凯 ;
郭少聪 ;
王军 ;
周维 .
中国专利 :CN113897684A ,2022-01-07
[3]
一种碳化硅晶体生长用的碳化硅籽晶 [P]. 
陶莹 ;
邓树军 ;
高宇 ;
段聪 ;
赵梅玉 .
中国专利 :CN203065637U ,2013-07-17
[4]
一种碳化硅晶体的生长方法和碳化硅晶体 [P]. 
张永伟 ;
袁振洲 ;
刘欣宇 .
中国专利 :CN117265664B ,2024-04-30
[5]
碳化硅籽晶板及其制备方法、碳化硅晶体及其生长方法 [P]. 
韩倩 ;
李远田 ;
潘丹丹 .
中国专利 :CN120844206A ,2025-10-28
[6]
碳化硅晶体的生长方法 [P]. 
狄聚青 ;
刘运连 ;
薛帅 .
中国专利 :CN113774488A ,2021-12-10
[7]
碳化硅晶体的生长方法 [P]. 
林钦山 .
中国专利 :CN117364246A ,2024-01-09
[8]
碳化硅晶体的生长方法 [P]. 
李远田 ;
吴建 .
中国专利 :CN118727132A ,2024-10-01
[9]
碳化硅复合籽晶及其制备方法、碳化硅晶体 [P]. 
周国清 .
中国专利 :CN120401008A ,2025-08-01
[10]
碳化硅复合籽晶及其制备方法、碳化硅晶体 [P]. 
周国清 .
中国专利 :CN120401009A ,2025-08-01