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一种掩膜版清洗装置及其清洗方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811590865.2
申请日：
2018-12-25
公开(公告)号：
CN109482557A
公开(公告)日：
2019-03-19
发明(设计)人：
王晓龙 姚俊俊
申请人：
申请人地址：
201600 上海市松江区中创路68号6幢2楼
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B100 B08B1300
代理机构：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253
代理人：
丁鹏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-03-19 公开 公开
2019-04-12 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20181225
共 50 条
[1]
一种掩膜版清洗装置 [P]. 
王晓龙 ;
姚俊俊 .
中国专利 :CN209577532U ,2019-11-05
[2]
一种掩膜版清洗装置及其清洗方法 [P]. 
钱超 ;
杨波 .
中国专利 :CN113351583A ,2021-09-07
[3]
掩膜版清洗装置 [P]. 
周锋 ;
孙世强 .
中国专利 :CN222343618U ,2025-01-14
[4]
一种掩膜版清洗装置及清洗方法 [P]. 
朱朝月 ;
李素华 ;
杨硕 ;
张孟湜 .
中国专利 :CN110000150A ,2019-07-12
[5]
一种掩膜版清洗装置 [P]. 
熊启龙 .
中国专利 :CN201235357Y ,2009-05-13
[6]
一种掩膜版清洗装置 [P]. 
张振 ;
刘佳擎 .
中国专利 :CN209318325U ,2019-08-30
[7]
一种掩膜版清洗装置 [P]. 
王峰 ;
赵海琴 .
中国专利 :CN223193268U ,2025-08-05
[8]
一种掩膜版清洗装置 [P]. 
傅云扬 ;
孙多卫 .
中国专利 :CN223393924U ,2025-09-30
[9]
一种掩膜版清洗装置 [P]. 
殷大山 ;
高威 ;
尹春月 .
中国专利 :CN207424526U ,2018-05-29
[10]
双旋转掩膜版清洗装置 [P]. 
金普楠 .
中国专利 :CN203133472U ,2013-08-14
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