一种掩膜版清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422507540.0

申请日：

2024-10-17

公开(公告)号：

CN223193268U

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

王峰赵海琴

申请人：

苏州瑞而美光电科技有限公司

申请人地址：

215488 江苏省苏州市太仓市科教新城子冈路27号6号楼8楼801室LA25

IPC主分类号：

G03F1/82

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种掩膜版自动清洗装置 [P].

周荣梵 .

中国专利 :CN222636486U ,2025-03-18

[2]

一种掩膜版清洗装置 [P].

熊启龙 .

中国专利 :CN201235357Y ,2009-05-13

[3]

一种掩膜版清洗装置 [P].

张振 ;

刘佳擎 .

中国专利 :CN209318325U ,2019-08-30

[4]

一种掩膜版清洗装置 [P].

王晓龙 ;

姚俊俊 .

中国专利 :CN209577532U ,2019-11-05

[5]

一种掩膜版清洗装置 [P].

傅云扬 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN223393924U ,2025-09-30

[6]

一种掩膜版清洗装置 [P].

殷大山 ;

高威 ;

尹春月 .

中国专利 :CN207424526U ,2018-05-29

[7]

一种掩膜版脱膜清洗装置 [P].

林超 ;

郑宇辰 ;

周荣梵 .

中国专利 :CN218099923U ,2022-12-20

[8]

一种金属掩膜版清洗装置 [P].

钱超 ;

余洋 .

中国专利 :CN217774990U ,2022-11-11

[9]

掩膜版清洗装置 [P].

周锋 ;

孙世强 .

中国专利 :CN222343618U ,2025-01-14

[10]

双旋转掩膜版清洗装置 [P].

金普楠 .

中国专利 :CN203133472U ,2013-08-14

← 1 2 3 4 5 →