一种掩膜版自动清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420925845.0

申请日：

2024-04-29

公开(公告)号：

CN222636486U

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

周荣梵

申请人：

成都路维光电有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区康强三路1666号

IPC主分类号：

G03F1/82

IPC分类号：

B08B1/12 B08B1/36 B08B3/02 B08B5/02

代理机构：

成都行之专利代理有限公司 51220

代理人：

张雪萍

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种掩膜版脱膜清洗装置 [P].

林超 ;

郑宇辰 ;

周荣梵 .

中国专利 :CN218099923U ,2022-12-20

[2]

一种掩膜版清洗装置 [P].

傅云扬 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN223393924U ,2025-09-30

[3]

一种掩膜版清洗装置 [P].

王峰 ;

赵海琴 .

中国专利 :CN223193268U ,2025-08-05

[4]

一种掩膜版清洗装置 [P].

熊启龙 .

中国专利 :CN201235357Y ,2009-05-13

[5]

一种掩膜版清洗装置 [P].

张振 ;

刘佳擎 .

中国专利 :CN209318325U ,2019-08-30

[6]

一种掩膜版清洗装置 [P].

王晓龙 ;

姚俊俊 .

中国专利 :CN209577532U ,2019-11-05

[7]

一种掩膜版清洗装置 [P].

殷大山 ;

高威 ;

尹春月 .

中国专利 :CN207424526U ,2018-05-29

[8]

一种掩膜版自动制程装置 [P].

周荣梵 ;

林超 .

中国专利 :CN217467461U ,2022-09-20

[9]

一种金属掩膜版清洗装置 [P].

钱超 ;

余洋 .

中国专利 :CN217774990U ,2022-11-11

[10]

一种新的光刻掩膜版清洗装置 [P].

陈宏渊 .

中国专利 :CN223669772U ,2025-12-16

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