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一种掩膜版自动制程装置
被引：0
申请号：
CN202221678020.0
申请日：
2022-07-01
公开(公告)号：
CN217467461U
公开(公告)日：
2022-09-20
发明(设计)人：
周荣梵
林超
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市高新区康强三路1666号
IPC主分类号：
G03F168
IPC分类号：
G03F182
代理机构：
成都行之智信知识产权代理有限公司 51256
代理人：
朱彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-20 | 授权 | 授权 |