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一种用于掩膜版手动制程的装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202121762985.3
申请日
:
2021-07-30
公开(公告)号
:
CN215067712U
公开(公告)日
:
2021-12-07
发明(设计)人
:
吕振群
林伟
申请人
:
申请人地址
:
610000 四川省成都市高新区康强三路1666号
IPC主分类号
:
G03F180
IPC分类号
:
G03F168
代理机构
:
成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220
代理人
:
喻英
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-07
授权
授权
共 50 条
[1]
一种掩膜版自动制程装置
[P].
周荣梵
论文数:
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周荣梵
;
林超
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林超
.
中国专利
:CN217467461U
,2022-09-20
[2]
一种用于掩膜版撬膜的放版装置
[P].
张伟明
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张伟明
;
李胜
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李胜
;
卢东辉
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卢东辉
;
谭超华
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谭超华
.
中国专利
:CN216118383U
,2022-03-22
[3]
用于掩膜版的加热装置
[P].
林伟
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林伟
;
林超
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林超
;
王伟轶
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王伟轶
;
周荣梵
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周荣梵
.
中国专利
:CN211905978U
,2020-11-10
[4]
一种掩膜版及掩膜版组件
[P].
安乐平
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安乐平
.
中国专利
:CN210529038U
,2020-05-15
[5]
一种掩膜版框架、掩膜版组件
[P].
钱超
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钱超
;
杨波
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杨波
.
中国专利
:CN213295480U
,2021-05-28
[6]
一种IC掩膜版贴膜装置
[P].
林超
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林超
;
刘嘉俊
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刘嘉俊
.
中国专利
:CN217944329U
,2022-12-02
[7]
用于气相沉积的掩膜版及掩膜版组
[P].
彭寿
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彭寿
;
马立云
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马立云
;
殷新建
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殷新建
;
陈瑛
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陈瑛
;
周显华
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周显华
;
樊中军
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樊中军
.
中国专利
:CN214300315U
,2021-09-28
[8]
一种用于掩膜版光刻胶的缓存装置
[P].
张文苑
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张文苑
;
花雷
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花雷
;
花荣
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花荣
.
中国专利
:CN214954504U
,2021-11-30
[9]
一种用于掩膜版的洗边装置
[P].
孙多卫
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孙多卫
;
李刚
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李刚
.
中国专利
:CN217932404U
,2022-11-29
[10]
一种用于掩膜版的定位确认装置
[P].
郝明毅
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郝明毅
.
中国专利
:CN201237696Y
,2009-05-13
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