一种用于掩膜版手动制程的装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202121762985.3
申请日
2021-07-30
公开(公告)号
CN215067712U
公开(公告)日
2021-12-07
发明(设计)人
吕振群 林伟
申请人
申请人地址
610000 四川省成都市高新区康强三路1666号
IPC主分类号
G03F180
IPC分类号
G03F168
代理机构
成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220
代理人
喻英
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种掩膜版自动制程装置 [P]. 
周荣梵 ;
林超 .
中国专利 :CN217467461U ,2022-09-20
[2]
一种用于掩膜版撬膜的放版装置 [P]. 
张伟明 ;
李胜 ;
卢东辉 ;
谭超华 .
中国专利 :CN216118383U ,2022-03-22
[3]
用于掩膜版的加热装置 [P]. 
林伟 ;
林超 ;
王伟轶 ;
周荣梵 .
中国专利 :CN211905978U ,2020-11-10
[4]
一种掩膜版及掩膜版组件 [P]. 
安乐平 .
中国专利 :CN210529038U ,2020-05-15
[5]
一种掩膜版框架、掩膜版组件 [P]. 
钱超 ;
杨波 .
中国专利 :CN213295480U ,2021-05-28
[6]
一种IC掩膜版贴膜装置 [P]. 
林超 ;
刘嘉俊 .
中国专利 :CN217944329U ,2022-12-02
[7]
用于气相沉积的掩膜版及掩膜版组 [P]. 
彭寿 ;
马立云 ;
殷新建 ;
陈瑛 ;
周显华 ;
樊中军 .
中国专利 :CN214300315U ,2021-09-28
[8]
一种用于掩膜版光刻胶的缓存装置 [P]. 
张文苑 ;
花雷 ;
花荣 .
中国专利 :CN214954504U ,2021-11-30
[9]
一种用于掩膜版的洗边装置 [P]. 
孙多卫 ;
李刚 .
中国专利 :CN217932404U ,2022-11-29
[10]
一种用于掩膜版的定位确认装置 [P]. 
郝明毅 .
中国专利 :CN201237696Y ,2009-05-13