掩膜版测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322396132.8

申请日：

2023-09-05

公开(公告)号：

CN220773416U

公开(公告)日：

2024-04-12

发明(设计)人：

梁宇辰李华

申请人：

上海探跃半导体设备有限公司

申请人地址：

200000 上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室

IPC主分类号：

G03F1/84

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

许利波

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

李伟 ;

刘富军 ;

朱杰 ;

魏崇喜 .

中国专利 :CN202886836U ,2013-04-17

[2]

掩膜版夹具及晶圆曝光装置 [P].

周阳 ;

葛伟伟 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN207611234U ,2018-07-13

[3]

一种掩膜版缺陷的修复方法、掩膜版的制备方法及掩膜版 [P].

张哲玮 ;

王梅侠 .

中国专利 :CN114815498A ,2022-07-29

[4]

掩膜版和蒸镀装置 [P].

吴秀珍 ;

吴康敬 ;

孙阳 ;

孙扬 .

中国专利 :CN221740412U ,2024-09-20

[5]

子掩膜版及掩膜版 [P].

谢飞 ;

苏胜利 ;

张佳成 ;

周俊吉 .

中国专利 :CN207775334U ,2018-08-28

[6]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974631U ,2011-09-14

[7]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974632U ,2011-09-14

[8]

掩膜版异物清除方法及掩膜版异物清除装置 [P].

胡友元 .

中国专利 :CN106311681B ,2017-01-11

[9]

一种掩膜版框架、掩膜版组件 [P].

钱超 ;

杨波 .

中国专利 :CN213295480U ,2021-05-28

[10]

刘明星 ;

王徐亮 ;

甘帅燕 ;

高峰 ;

张玄 .

中国专利 :CN208266254U ,2018-12-21

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