掩膜版异物清除方法及掩膜版异物清除装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510341886.0

申请日：

2015-06-18

公开(公告)号：

CN106311681B

公开(公告)日：

2017-01-11

发明(设计)人：

胡友元

申请人：

申请人地址：

201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

IPC主分类号：

B08B700

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

吴俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-29	授权	授权
2017-01-11	公开	公开
2020-08-25	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B08B 7/00 变更事项:专利权人变更前:上海和辉光电有限公司变更后:上海和辉光电股份有限公司变更事项:地址变更前:201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室变更后:201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
2017-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101702025932 IPC(主分类):B08B 7/00 专利申请号:2015103418860 申请日:20150618

共 50 条

[1]

掩膜板异物清除装置 [P].

王超 .

中国专利 :CN109782551A ,2019-05-21

[2]

李伟 ;

刘富军 ;

朱杰 ;

魏崇喜 .

中国专利 :CN202886836U ,2013-04-17

[3]

一种掩膜版缺陷的修复方法、掩膜版的制备方法及掩膜版 [P].

张哲玮 ;

王梅侠 .

中国专利 :CN114815498A ,2022-07-29

[4]

掩膜版测量装置 [P].

梁宇辰 ;

李华 .

中国专利 :CN220773416U ,2024-04-12

[5]

掩膜版版图的修正方法及掩膜版版图 [P].

郑二虎 ;

张冬平 ;

洪中山 .

中国专利 :CN113517180A ,2021-10-19

[6]

一种掩膜版框架、掩膜版组件 [P].

钱超 ;

杨波 .

中国专利 :CN213295480U ,2021-05-28

[7]

一种掩膜版载台及掩膜版对准方法 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117369221A ,2024-01-09

[8]

一种掩膜版载台及掩膜版对准方法 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117369221B ,2025-09-26

[9]

掩膜版、掩膜版缺陷修复方法、掩膜版的使用方法以及半导体结构 [P].

秦学飞 ;

王杰 ;

薛粉 ;

凌文君 ;

李德建 .

中国专利 :CN112394614B ,2024-12-17

[10]

一种支撑掩膜版及掩膜装置 [P].

王广成 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN117488243A ,2024-02-02

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