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掩膜板异物清除装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910028756.X
申请日：
2019-01-11
公开(公告)号：
CN109782551A
公开(公告)日：
2019-05-21
发明(设计)人：
王超
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人：
林才桂;程晓
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190111 |
| 2021-12-17 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20190521 |
| 2021-02-26 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:申请人 变更前:深圳市华星光电技术有限公司 变更后:TCL华星光电技术有限公司 变更事项:地址 变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |
| 2019-05-21 | 公开 | 公开 |