用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520926682.9

申请日：

2015-11-19

公开(公告)号：

CN205092229U

公开(公告)日：

2016-03-16

发明(设计)人：

刘慰华包广宏陈伟

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区新庆路8号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235

代理人：

杨林洁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-16	授权	授权
2021-11-16	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20211103 变更事项:专利权人变更前权利人:聚灿光电科技股份有限公司变更后权利人:聚灿光电科技（宿迁）有限公司变更事项:地址变更前权利人:215123 江苏省苏州市工业园区新庆路8号变更后权利人:223800 江苏省宿迁市经济技术开发区东吴路南侧

共 50 条

[1]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092230U ,2016-03-16

[2]

外延生长用石墨承载盘 [P].

黄文宾 ;

林忠宝 ;

谢祥彬 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN204550790U ,2015-08-12

[3]

外延生长用石墨承载盘 [P].

谢祥彬 ;

刘兆 ;

刘恒山 ;

宋长伟 .

中国专利 :CN203839356U ,2014-09-17

[4]

用于LED外延晶圆制程的石墨承载盘 [P].

郑锦坚 ;

寻飞林 ;

邓和清 ;

李志明 ;

杜伟华 ;

伍明跃 ;

周启伦 ;

林峰 ;

李水清 ;

康俊勇 .

中国专利 :CN104409402B ,2015-03-11

[5]

一种外延生长用石墨承载盘 [P].

黄理承 ;

谢翔麟 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206680574U ,2017-11-28

[6]

用于外延生长设备的预热环及外延生长设备 [P].

夏振军 ;

孙伟 .

中国专利 :CN211879338U ,2020-11-06

[7]

一种用于生长LED外延片的石墨盘 [P].

刘恒山 ;

吴永胜 ;

朱建海 ;

马野 ;

张少春 .

中国专利 :CN216698312U ,2022-06-07

[8]

用于LED外延晶圆制程的石墨承载盘 [P].

郑锦坚 ;

周启伦 ;

寻飞林 ;

伍明跃 ;

邓和清 ;

李志明 ;

李水清 .

中国专利 :CN104047051A ,2014-09-17

[9]

用于LED外延晶圆制程的石墨承载盘 [P].

刘慰华 ;

郭银涛 ;

陈伟 .

中国专利 :CN204825126U ,2015-12-02

[10]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814269A ,2024-10-22

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