外延生长用石墨承载盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420233304.8

申请日：

2014-05-08

公开(公告)号：

CN203839356U

公开(公告)日：

2014-09-17

发明(设计)人：

谢祥彬刘兆刘恒山宋长伟

申请人：

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-17	授权	授权

共 50 条

[1]

外延生长用石墨承载盘 [P].

黄文宾 ;

林忠宝 ;

谢祥彬 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN204550790U ,2015-08-12

[2]

一种外延生长用石墨承载盘 [P].

黄理承 ;

谢翔麟 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206680574U ,2017-11-28

[3]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092229U ,2016-03-16

[4]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092230U ,2016-03-16

[5]

一种外延生长用石墨盘 [P].

林继宏 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN205046194U ,2016-02-24

[6]

碳化硅外延生长用石墨盘基座 [P].

钮应喜 ;

左万胜 ;

郗修臻 ;

张晓洪 ;

刘锦锦 ;

刘洋 ;

史田超 ;

章学磊 .

中国专利 :CN211005719U ,2020-07-14

[7]

用于MOCVD半导体外延生长用石墨盘清洗的承载装置 [P].

张泉 ;

孙海龙 ;

李文红 .

中国专利 :CN217298089U ,2022-08-26

[8]

一种晶片外延生长用承载盘 [P].

徐新然 ;

陈元荣 .

中国专利 :CN120905772A ,2025-11-07

[9]

一种半导体外延生长用承载盘 [P].

梁瑞 ;

黄海林 ;

冯淦 ;

赵建辉 .

中国专利 :CN215856451U ,2022-02-18

[10]

外延生长用晶片载盘 [P].

徐志军 ;

谢祥彬 ;

刘兆 ;

吴洪浩 ;

程伟 ;

周宏敏 ;

张家宏 ;

卓昌正 ;

林兓兓 ;

谢翔麟 .

中国专利 :CN203947179U ,2014-11-19

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