外延生长用晶片载盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420331828.0

申请日：

2014-06-20

公开(公告)号：

CN203947179U

公开(公告)日：

2014-11-19

发明(设计)人：

徐志军谢祥彬刘兆吴洪浩程伟周宏敏张家宏卓昌正林兓兓谢翔麟

申请人：

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号

IPC主分类号：

C30B2512

IPC分类号：

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶片外延生长用承载盘 [P].

徐新然 ;

陈元荣 .

中国专利 :CN120905772A ,2025-11-07

[2]

碳化硅外延片生长载盘 [P].

张郁坚 ;

马爽 ;

李锡光 .

中国专利 :CN222119470U ,2024-12-06

[3]

外延生长用石墨承载盘 [P].

黄文宾 ;

林忠宝 ;

谢祥彬 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN204550790U ,2015-08-12

[4]

外延生长用石墨承载盘 [P].

谢祥彬 ;

刘兆 ;

刘恒山 ;

宋长伟 .

中国专利 :CN203839356U ,2014-09-17

[5]

外延晶片生长装置 [P].

姜侑振 .

中国专利 :CN105765113A ,2016-07-13

[6]

外延生长用硅晶片及外延晶片及其制造方法 [P].

星亮二 ;

园川 .

中国专利 :CN1668786A ,2005-09-14

[7]

晶片载盘 [P].

寻飞林 ;

宋长伟 ;

江汉 ;

黄理承 ;

徐志波 ;

黄文宾 ;

李政鸿 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN207347657U ,2018-05-11

[8]

一种外延生长用石墨盘 [P].

林继宏 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN205046194U ,2016-02-24

[9]

一种外延生长用石墨承载盘 [P].

黄理承 ;

谢翔麟 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206680574U ,2017-11-28

[10]

用于外延生长装置的晶圆载具及外延生长装置 [P].

阳超 ;

张洁 .

中国专利 :CN221297138U ,2024-07-09

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