一种晶片外延生长用承载盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411331592.5

申请日：

2024-09-24

公开(公告)号：

CN120905772A

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

徐新然陈元荣

申请人：

厦门市九万光芯科技有限公司

申请人地址：

361000 福建省厦门市湖里区中国（福建）自由贸易试验区厦门片区港中路1734号1单元301室

IPC主分类号：

C30B25/12

IPC分类号：

H01L21/673 H01L21/68 C30B23/02

代理机构：

泉州企记知识产权代理事务所(普通合伙) 35264

代理人：

邢青青

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-07	公开	公开
2025-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/12申请日:20240924

共 50 条

[1]

外延生长用晶片载盘 [P].

徐志军 ;

谢祥彬 ;

刘兆 ;

吴洪浩 ;

程伟 ;

周宏敏 ;

张家宏 ;

卓昌正 ;

林兓兓 ;

谢翔麟 .

中国专利 :CN203947179U ,2014-11-19

[2]

外延生长用石墨承载盘 [P].

黄文宾 ;

林忠宝 ;

谢祥彬 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN204550790U ,2015-08-12

[3]

外延生长用石墨承载盘 [P].

谢祥彬 ;

刘兆 ;

刘恒山 ;

宋长伟 .

中国专利 :CN203839356U ,2014-09-17

[4]

一种外延生长用石墨承载盘 [P].

黄理承 ;

谢翔麟 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206680574U ,2017-11-28

[5]

一种晶片承载装置及外延生长设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

鲁冲昊 .

中国专利 :CN223329426U ,2025-09-12

[6]

一种半导体外延生长用承载盘 [P].

梁瑞 ;

黄海林 ;

冯淦 ;

赵建辉 .

中国专利 :CN215856451U ,2022-02-18

[7]

晶片承载盘 [P].

许昊 ;

张丽旸 .

中国专利 :CN217809642U ,2022-11-15

[8]

一种分离式外延生长承载盘 [P].

黄海林 .

中国专利 :CN213936156U ,2021-08-10

[9]

外延晶片生长装置 [P].

姜侑振 .

中国专利 :CN105765113A ,2016-07-13

[10]

外延生长用硅晶片及外延晶片及其制造方法 [P].

星亮二 ;

园川 .

中国专利 :CN1668786A ,2005-09-14

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